"新奧門資料大全正版資料中，詳細(xì)講解了氦質(zhì)譜檢漏儀的原理圖。該儀器利用氦氣作為示蹤氣體，通過質(zhì)譜分析技術(shù)，高靈敏度地檢測容器或系統(tǒng)的微小泄漏。原理圖展示了氦氣注入、泄漏檢測、質(zhì)譜分析及信號(hào)放大的全過程，為工業(yè)、科研等領(lǐng)域提供了精確可靠的泄漏檢測解決方案。"

氦質(zhì)譜檢漏儀作為一種高精度、高靈敏度的氣密性檢測儀器，自第二次世界大戰(zhàn)期間快速發(fā)展以來，已在航空航天、電子制造、核工業(yè)、制冷技術(shù)等多個(gè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，其獨(dú)特的檢測原理和高效的檢漏能力，使其成為現(xiàn)代工業(yè)中不可或缺的檢測設(shè)備，本文將詳細(xì)講解氦質(zhì)譜檢漏儀的原理圖及其工作原理，幫助讀者深入了解這一先進(jìn)技術(shù)的核心。

氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理

氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理基于質(zhì)譜學(xué)，利用氦氣（He）作為示蹤氣體，通過檢測氦氣的存在和濃度來判斷被檢件是否存在泄漏，其核心在于利用不同質(zhì)荷比的離子在磁場中受洛倫茲力作用而產(chǎn)生不同半徑的圓周運(yùn)動(dòng)，從而分離并檢測特定質(zhì)量的離子（即氦離子）。

原理圖概述

氦質(zhì)譜檢漏儀主要由離子源、分析器（磁分析器）、接收器、真空系統(tǒng)、電子線路及其他電氣部分組成，以下是對(duì)這些關(guān)鍵部件及其相互作用的詳細(xì)解析。

1. 離子源

離子源是氦質(zhì)譜檢漏儀的起點(diǎn)，通常由一根加熱的燈絲（陰極）和陽極組成，燈絲發(fā)射出熱電子，這些電子在電離室內(nèi)來回振蕩，與電離室內(nèi)的氣體（通常為惰性氣體如氬氣）以及通過被檢件漏孔進(jìn)入電離室的氦氣發(fā)生碰撞，使其電離成正離子，電離過程產(chǎn)生的正離子是后續(xù)檢測的基礎(chǔ)。

2. 加速電場

電離產(chǎn)生的正離子在加速電場的作用下獲得一定的動(dòng)能，形成離子束，加速電場的強(qiáng)度決定了離子束的初始速度，進(jìn)而影響其在磁場中的偏轉(zhuǎn)半徑。

3. 磁分析器

磁分析器是氦質(zhì)譜檢漏儀的核心部件，它包含一個(gè)均勻磁場，離子束進(jìn)入磁場后，受到洛倫茲力的作用而發(fā)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，根據(jù)洛倫茲力公式和圓周運(yùn)動(dòng)公式，離子的偏轉(zhuǎn)半徑R與其質(zhì)荷比M/Z、磁場強(qiáng)度B以及加速電壓U有關(guān)，對(duì)于特定質(zhì)量的離子（如氦離子），當(dāng)R和B為定值時(shí)，通過調(diào)節(jié)加速電壓U，可以使該離子恰好通過接收縫到達(dá)接收器。

4. 接收器

接收器位于磁分析器的出口處，用于收集通過接收縫的特定質(zhì)量離子（如氦離子），接收器通常與弱電流量測設(shè)備相連，將接收到的離子流轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，進(jìn)而在輸出儀表或音響裝置上顯示出來。

5. 真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)是氦質(zhì)譜檢漏儀的重要組成部分，用于維持電離室、分析器及接收器等關(guān)鍵部件的高真空狀態(tài)，高真空環(huán)境是質(zhì)譜儀穩(wěn)定工作的基礎(chǔ)，能夠減少背景氣體的干擾，提高檢測靈敏度。

檢漏流程與方式

常規(guī)檢漏

常規(guī)檢漏是氦質(zhì)譜檢漏儀最常用的檢漏方式之一，其流程大致如下：

1、準(zhǔn)備階段：將被檢件與檢漏儀的檢漏口連接，并對(duì)被檢件內(nèi)部進(jìn)行抽真空處理。

2、充氦階段：向被檢件內(nèi)部充入高于大氣壓的氦氣作為示蹤氣體。

3、檢測階段：開啟檢漏儀，觀察輸出儀表或音響裝置的指示，若被檢件存在泄漏，泄漏的氦氣會(huì)通過漏孔進(jìn)入真空腔體，最終被檢漏儀檢測到。

逆擴(kuò)散檢漏

逆擴(kuò)散檢漏是一種特殊的檢漏方式，適用于檢測大型容器或有大漏的器件，其原理是將被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測，這種方式允許被檢件內(nèi)壓強(qiáng)較高，且質(zhì)譜室不易受污染，燈絲壽命長。

噴吹法檢漏

噴吹法檢漏是另一種常見的檢漏方式，特別適用于大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏，其流程包括：

1、抽真空：利用輔助真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室進(jìn)行抽真空處理。

2、噴吹氦氣：在被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦氣會(huì)通過漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部。

3、檢測：進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部的氦氣再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，檢漏儀會(huì)報(bào)警并顯示當(dāng)前漏率值。

氦質(zhì)譜檢漏