澳門網港澳寶典提供的質譜檢漏儀工作原理圖解展示了該設備如何通過質譜分析技術來檢測氣體泄漏。質譜檢漏儀利用不同氣體分子在電場或磁場中的電離、加速、偏轉和檢測等過程，將待測氣體樣本中的微量泄漏氣體分離并識別出來。圖解詳細描繪了質譜儀的組成部件，包括離子源、質量分析器、檢測器等，并解釋了各部件如何協同工作以實現高精度、高靈敏度的氣體泄漏檢測。

質譜檢漏儀，作為一種高精度、高靈敏度的檢測儀器，廣泛應用于各種需要氣密性檢測的場景中，如電廠、科研、工業、汽車制冷、航空航天及半導體等領域，其核心在于利用氦氣的特殊性質結合質譜分析技術，實現對被檢件密封性的精確檢測，本文將通過圖解的方式，詳細解析質譜檢漏儀的工作原理。

質譜檢漏儀的基本組成

質譜檢漏儀主要由質譜管、真空系統和電子系統三大部分組成，質譜管是檢漏儀的核心部分，包括離子源、質量分析器和離子檢測器；真空系統則負責提供質譜分析所需的真空環境，并完成被檢件的抽空和氦氣的引入；電子系統則負責控制整個檢漏過程，并處理檢測信號。

圖解質譜管結構

圖1：質譜管結構示意圖

離子源：負責產生氦離子，在離子源內，氦氣被電離成離子，為后續的質譜分析提供樣本。

質量分析器：根據離子的質量差異進行分離，離子束在電場和磁場的作用下，按照不同的偏轉半徑被分離，只有特定質量的離子（如氦離子）能通過縫隙進入收集極。

離子檢測器：檢測通過縫隙的離子信號，并將其轉化為電信號輸出，這些電信號經過放大和處理后，最終在輸出儀表上顯示，指示被檢件的漏率。

圖解真空系統

圖2：真空系統結構示意圖

分子泵和機械泵：組合使用，將被檢件內部及質譜室抽至所需的真空度，分子泵主要用于高真空的獲取，而機械泵則用于初步抽氣。

電磁閥和真空計：電磁閥用于控制氣體的引入和排出，真空計則用于監測真空室內的壓力變化。

質譜檢漏儀的工作原理

質譜檢漏儀的工作原理基于氦氣的特殊性質以及質譜分析技術，氦氣是一種本底噪聲低、分子量及粘滯系數小的惰性氣體，易通過漏孔并易擴散，當氦離子從氦源裝置發出時，它們會在真空環境中傳播，經過漏洞時，部分氦離子會通過漏洞而外泄，從而可以檢測出漏洞的存在。

檢漏過程圖解

圖3：檢漏過程示意圖

1、預抽真空：使用輔助泵將被檢容器抽到低真空狀態，以減少背景氣體的干擾。

2、連接質譜室：關閉輔助閥，打開檢漏閥，將被檢容器與質譜檢漏儀的質譜室連通，質譜室也需保持高真空狀態。

3、噴吹氦氣：使用噴槍在被檢容器可疑漏氣部位噴吹氦氣，如果有漏孔，氦氣會通過漏孔進入被檢容器內部，并迅速進入質譜室。

4、質譜分析：進入質譜室的氦離子在離子源內被電離，經過質量分析器分離后，只有氦離子能通過縫隙進入收集極，形成離子流，離子檢測器檢測離子信號并將其轉化為電信號輸出。

5、指示漏率：輸出儀表根據電信號的變化指示漏率大小，通過噴槍噴吹的位置可以確定漏孔的具體位置。

檢漏方法的多樣性

質譜檢漏儀的檢漏方法多種多樣，以適應不同被檢件的結構、大小和要求，常見的檢漏方法包括噴吹法、氦罩法、真空室法、吸槍法和檢漏盒法等。

噴吹法：通過噴槍在被檢容器外表面噴吹氦氣，檢測漏孔位置及漏率，該方法定位準確，但漏率檢測受大氣壓差限制。

氦罩法：用氦氣罩將被檢部位罩起來，充入氦氣后檢測總漏率，該方法靈敏度高、速度快，但無法確定漏孔具體位置。

真空室法：將被檢容器放入真空室中，充入氦氣后檢測總漏率，適用于大容器或復雜結構產品的檢漏。

吸槍法：使用特制吸槍在被檢容器外部掃描，通過吸入氦氣檢測漏孔位置，該方法能準確找到漏孔